Röntgentechnik
Systeme für die Kristallorientierung
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Drei Generationen von Röntgen-IngenieurenDie Firma EFG wurde 1961 vom Röntgeningenieur Arthur Bradaczek und seinem Sohn Hans Bradaczek gegründet. Während Arthur Bradaczek seit 1922 bei Siemens Berlin im Bereich für medizinische Röntgenapparate arbeitete, sammelte Hans Bradaczek erste Erfahrungen bei Siemens in Erlangen, wo er Dosimeter für ein Betatron entwickelte. Später in Berlin (1958) entwickelte er als Medizin-Physiker Geräte für die Isodosenmessung an einer der ersten Cobaltstrahlung-Gammatron-Geräte. Für diese Arbeit erhielt er den Röntgen-Preis, der mit Aufenthalten in Canada und den USA verbunden war. Im Jahre 1959 begann Hans Bradaczek seine Doktorarbeit auf dem Gebiet der Röntgenbeugung am Fritz-Haber-Institut der Max-Planck-Gesellschaft in Berlin, deren Direktor damals Max von Laue war, und promovierte 1966. Während dieser Zeit entwickelte er außerdem einen hochstabilen Röntgengenerator, der patentiert und später von der Firma Seifert Cie. vertrieben wurde. Die EFG vertrat dann die Firma Seifert in West-Berlin. Drei Jahre später wurde Hans Bradaczek Professor für Kristallographie an der Freien Universität Berlin, wo er für 10 Jahre Institutsdirektor war. Während dieser Zeit arbeitete er auch als Gast am Kernreaktor des MIT Cambridge bei Clifford Shull, einem späteren Nobelpreisträger für Physik. In den ersten Jahren begann die EFG mit nur wenigen Mitarbeitern. Es wurde eine Reihe von elektronischen Geräten entwickelt:
In den nachfolgenden Jahren wurden vielfältige kundenspezifische Instrumente entwickelt: von Kleinwinkelkameras über Röntgengoniometer bis zur großen Eulerwiege. Obwohl die Entwicklung von neuen Maschinen ein spannendes Aufgabenfeld war, kam der finanzielle Erfolg erst mit den Quarz-Sortiermaschinen, von denen mittlerweile mehr als 200 Exemplare in alle Welt verkauft wurden. Quarzplättchen (Blanks), die in Oszillatoren verwendet werden, benötigen eine große Genauigkeit des Schnittwinkels zwischen Oberfläche und einer bestimmten Netzebene. Ansonsten ist die Schwingfrequenz stark temperatur- und gravitationsabhängig, was zu unbrauchbaren Bauteilen führt. Die erforderliche Genauigkeit im Bereich einiger Winkelsekunden kann beim Herstellungsprozess der Blanks nicht garantiert werden. Mit einer laserkorrigierten Röntgenmessung (Omega-Scan) kann deren Winkelverteilung gemessen und eine entsprechende Sortierung durchgeführt werden. Mit Hilfe der Quarz-Sortiermaschinen konnte die Ausschussquote in der Oszillatorfertigung drastisch gesenkt werden. In den letzten Jahren stieg das Interesse an Röntgenanlagen für weitere Aufgabenfelder: Substratkristalle für die Herstellung großflächiger, "Kaltes Licht" aussendender LED’s, benötigen ähnlich wie die Quarzblanks eine exakte Orientierung. Die im Schmelzverfahren gewonnenen Kristalle, nach Bearbeitung auch Ingots genannt, müssen vor dem Schneiden orientiert gestapelt und auf einen Träger geklebt werden. Danach können aus dem Stapel Wafer geschnitten werden. Für diesen Zweck wurde eine Maschine entwickelt, mit der Ingots mit Durchmessern bis 4’’ und Längen bis 150mm orientiert sowie zu Stapeln zusammengefügt werden können. Auf diesem Gerät kann auch die Orientierung der geschnittenen Wafer überprüft werden. Die Orientierungsmessung basiert ebenfalls auf dem Omega-Scan. Die zuletzt genannte Röntgenanlage wurde so konstruiert, daß sie mit wenigen Änderungen an die Messung von kompakten Einkristallen beliebiger Form und Größe angepasst werden kann. So kann sie z.B. für die für die Orientierungsbestimmung und -einstellung von Silizium-Ingots bis 12“ Durchmesser und von anderen Halbleitermaterialien eingesetzt werden. Eine andere Weiterentwicklung betrifft den Einsatz der Omega-Scan-Methode für die ortsabhängige Messung der Orientierung und anderer Parameter an Einkristall-Wafern. Auch hier ist die spezielle Ausführung für beliebige Materialien und Anforderungen entsprechend den Kundenwünschen möglich. Eine der neuesten EFG-Entwicklungen ist ein Präzisions-Röntgen-Reflektometer für den Forschungsreaktor Garching. Dabei wird ein Vergleich von Röntgen-und Neutronenmessungen ermöglicht. Während all der Jahre hat sich die EFG zu einem weltweiten Ausrüster von Röntgenanlagen entwickelt. Weiterhin hat sie die Vertretung der Firma Rigaku, Japan, für Zentraleuropa übernommen. Die EFG unterhält eine Repäsentanz in Shenzhen, China. Der erste Standort der Firma wurde mit der Zeit zu klein und ein 2000qm-Gebäude in Berlin, Beeskowdamm, wurde der neue Hauptsitz.
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