| |
Orientierungsmessung an einem
6"-Silizium-Ingot
|
Messung eines
6"-Silizium-Wafers |
Messung eines
Lithiumniobat-Rohkristalls |
Messung und Justage von
2" -
Saphir-Ingots |
Universelle Vorrichtung zur Orientierungsmessung von
Rohkristallen,
Ingots und Wafern und zur Ingotjustage
Mit Hilfe dieser Messvorrichtung ist es möglich, die Orientierung von Kristallen in kurzer Zeit mit einer Genauigkeit im Winkelsekundenbereich zu bestimmen. Die Orientierung kann ausgedrückt werden durch zwei Winkel, die die Neigung entweder der Oberfläche oder der Richtung der Ingotachse zum Kristallgitter beschreiben. Die Messvorrichtung kann werksseitig auf beliebige kristalline Materialien und Orientierungen eingerichtet werden. Optional gibt es eine Vorrichtung, mit der mehrere Ingots gestapelt, dabei gemessen und justiert und danach auf einer Stahlschiene zusammengeklebt werden können.
Spezifikation:
- Materialien: Silizium, Siliziumcarbid, Saphir und Quarz*
- Messung von Rohkristallen, Ingots und Wafern
- Messprinzip: Omega-Scan
- Automatische Einstellung der Messvorrichtung auf die Probenhöhe bzw. Waferdicke
- Komplettsystem mit Messaufbau, Röntgengenerator und Steuerungs-PC
*) andere Kristalltypen auf Anfrage
Option Saphir-Ingotjustierung und Wafermessung:
- Orientierungsmessung und –einstellung; Stapelung und Klebung
- Ingotdurchmesser 2“ – 6 “ (50,8 – 152,4 mm)**
- Bis 5 Ingots mit 50-150 mm Länge**
- Gesamtlänge des Ingotstapels max. 300 mm**
- Messbare Orientierung: (0001) ± 2° **
- Einstellbare Orientierungsabweichung 0...1° in beliebiger Richtung
- Messzeit (bei 4 Umdrehungen): 12 Sekunden
- Reproduzierbarkeit der Orientierungsabweichung (bei 4 Umdrehungen):
10 Winkelsekunden
- Reproduzierbarkeit der Flat-Ausrichtung (bei 4 Umdrehungen):
30 Winkelsekunden
**) andere Dimensionierungen und Orientierungen auf Anfrage
Option Silizium-Ingot- und Wafermessung:
- Ingotdurchmesser 2" - 12" (50,8 – 304,8 mm)**
- Ingotlänge max. 1500 mm**
- Messbare Orientierungen (bei fester Messanordnung): (100), (111), (110) ± 5° **
- Messzeit (bei 1Umdrehung): 3 Sekunden
- Reproduzierbarkeit der Orientierungsabweichung (bei 1 Umdrehung):
10 Winkelsekunden
- Reproduzierbarkeit der Flat-Ausrichtung (bei 1 Umdrehung):
1 Winkelminute
**) andere Dimensionierungen und Orientierungen auf Anfrage |
