EFG Berlin

Röntgentechnik
Systeme für die Kristallorientierung

Geschichte Historische Produkte Omega-Scan Impressum
Neuentwicklungen Quarz-Sortiermaschinen Quarz-Barrenjustierung Ingot- & Rohkristall-Orientierung Wafer mapping Rigaku Röntgenanalytik Kundenprojekte Produkt Videos
Mechanische Fertigung Vertrieb & Service für Rigaku Kundenprojekte
 

Quarz-Sortiermaschinen

 
Der Schnittwinkel von Schwingquarzen bestimmt die Temperaturabhängigkeit der Frequenz und damit die Stabilität eines Quarzoszillators. Die Quarz-Sortiermaschinen ermöglichen es, den Schnittwinkel genau zu messen, und die Blanks danach zu sortieren. Als Messverfahren dient der laserkorrigierte Omega-Scan, bei dem die Lage der Kristallebenen zur Oberfläche des Kristalls ermittelt wird. Die EFG-Standardmaschinen sind auf AT- und SC-Quarze für Präzisionsanwendungen eingerichtet. Bei Bedarf können auch Sortiermaschinen für andere Quarz-Schnitte geliefert werden. Quarzblanks
 
Quarz - Typ AT - Schnitt
(Mittlerer Winkel: Theta = 35.25° Phi=0° )
SC - Schnitt
(M.W.: Theta = 34°, Phi=21.9°)
Modell QSA22L QSA30L QSA50L QSA55L QSC41L QSC60L
Sortierfunktion Vollautomatisch Vollautomatisch Vollautomatisch Vollautomatisch Halbautomatisch Vollautomatisch
Blankgrösse 4.5 ... 10 mm 10 ... 25 mm 1.2 x 3.5mm2 ...
5 mm
0.8 x 1mm2 ...
3 mm
6 ...16 mm 8 ... 15 mm
min. Blankdicke 0.06 mm 0.08 mm 0.05 mm 0.05 mm 0.08 mm 0.08 mm
Sortierintervall ±7.5 arc sec ±7.5 arc sec ±7.5 arc sec ±7.5 arc sec ±5 arc sec ±5 arc sec
Standardabweichung < 6 arc sec* < 6 arc sec* < 6 arc sec* < 6 arc sec*

Theta: <2 arc sec*
Phi: <10 arc sec*

Theta: <2 arc sec*
Phi: <10 arc sec*
max. Durchsatz (Blanks/Stunde) 1000 1000 1000 1000 120 180
Ausführung

Alle Maschinen sind auf einem Gestell mit einer Granitplatte aufgebaut. Zur Abdeckung und als Schutz vor Röntgenstrahlen haben die Maschinen eine Plexiglashaube mit Fronttür. Zur Standardausstattung gehören:

  • 1.2 kW Röntgengenerator, Röhrengehäuse mit Feinfocusröhre, Cu-Anode
  • Szintillationsdetektor mit Elektronik
  • Lasereinheit und CCD-Kameraeinheit mit oberflächenbeschichteten Spiegeln
  • Steuerungseinheit für Schrittmotoren, Sensoren, Aktoren und Sicherheitsfunktionen
  • Steuerrechner (PC) mit Monitor
  • Englischsprachige Software für Sortierung, Auswertung, Kalibrierung und Diagnose

Das Modell QSC60L ist für beidseitige Lasermessung der Quarzblanks ausgerüstet.

Optionen
  • Thermostat
  • Hygrostat
Hinweise

*) Die Messgenauigkeit ist abhängig von der Oberflächenqualität der Blanks. Optimale Messergebnisse können nur mit gut gereinigten und geläppten Blanks erzielt werden. Bei allen Maschinen kann mittels Mehrfachmessung die Messgenauigkeit bei gleichzeitig verringertem Durchsatz erhöht werden.

Zurück zur Übersicht

QSA22L: Vollautomatische Quarz-Sortiermaschine für runde und rechteckige AT-Quarzblanks


  • Blankgrösse: 4.5 ... 10mm
  • kleinstmögliche Blankdicke: 0.06 mm
  • Sortierintervall: ±7.5 arc sec
  • Standardabweichung: < 6 arc sec
  • Durchsatz: 1000 Blanks/Stunde
Quarz-Sortiermaschine QSA22L
 

Zurück zur Übersicht

QSA30L: Vollautomatische Quarz-Sortiermaschine für runde und rechteckige AT-Quarz Wafer & Blanks


  • Blankgrösse: 10 ... 25 mm
  • kleinstmögliche Blankdicke: 0.08 mm
  • Sortierintervall: ±7.5 arc sec
  • Standardabweichung: < 6 arc sec
  • Durchsatz: 1000 Blanks/Stunde
Quarz-Sortiermaschine QSA30L
 

Zurück zur Übersicht

QSA50L: Vollautomatische Quarz-Sortiermaschine für runde und rechteckige SMD AT-Quarzblanks


  • Blankgrösse: 1.2 x 3.5mm2 ... 5 mm
  • kleinstmögliche Blankdicke: 0.05 mm
  • Sortierintervall: ±7.5 arc sec
  • Standardabweichung: < 6 arc sec
  • Durchsatz: 1000 Blanks/Stunde
Quarz-Sortiermaschine QSA55L
 

Zurück zur Übersicht

QSA55L: Vollautomatische Quarz-Sortiermaschine für runde und rechteckige SMD AT-Quarzblanks


  • Blankgrösse: 0.8 x 1.0mm2 ... 3 mm
  • kleinstmögliche Blankdicke: 0.05 mm
  • Sortierintervall: ±7.5 arc sec
  • Standardabweichung: < 6 arc sec
  • Durchsatz: 1000 Blanks/Stunde
Quarz-Sortiermaschine QSA50L
 

Zurück zur Übersicht

QSC41L: Halbautomatische Quarz-Sortiermaschine für SC-Quarzblanks

  • Blankgrösse: 6 ...16 mm
  • kleinstmögliche Blankdicke: 0.08 mm
  • Sortierintervall: ±5 arc sec
  • Standardabweichung:
    Theta: <2 arc sec
    Phi: <10 arc sec
  • Durchsatz: 120 Blanks/Stunde
  • Halbautomatische Funktion: Die Zuführung und Einsortierung der Blanks erfolgt von Hand.
Quarz-Sortiermaschine QSC41L
 

Zurück zur Übersicht

QSC60L: Vollautomatische Quarz-Sortiermaschine für SC-Quarzblanks

  • Beidseitige Lasermessung an der Ober- und Unterseite der Blanks
  • Blankgrösse: 8 ... 15 mm
  • kleinstmögliche Blankdicke: 0.08 mm
  • Sortierintervall: 5 arc sec
  • Standardabweichung:
    Theta: <2 arc sec
    Phi: <10 arc sec
  • Durchsatz: 180 Blanks/Stunde
Quarz-Sortiermaschine QSC60L